低温泵工作原理是怎么样的？低温泵有哪些类型？

有很多工具在很多方面上都会运用得到，比如说低温泵这一工具，在很多工厂里面都可以见到，所以我们平时可以多了解这方面的知识，比如说低温泵工作原理是什么呢？低温泵
据介绍低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

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低温泵工作原理
低温泵工作原理是什么？
低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法。

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低温泵工作原理
低温泵的类型
1 ，注入式液氦低温泵：主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6帕压力时灌入液氮和液氦，气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级，故泵可获得10-11帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕，液氦温度可降到2.3K ，则可得到更低的极限压力。
2 ，闭路循环气氦制冷机低温泵：它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K ，典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K ，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。泵的极限压力为10-7到10-8帕，工作压力范围为10-1到10-7帕，要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒。此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升/秒以上。
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